Застосування металевого матеріалу Тантал

Матеріал мішені танталу зазвичай називають голою мішенню, по-перше, він буде зварений з мідною підкладкою мішені, а потім напівпровідниковим або оптичним напиленням, атоми танталу будуть осідати на матеріалі підкладки з утворенням оксиду для реалізації покриття розпиленням; в напівпровідниковій промисловості, в даний час, основне використання металевого танталу (Ta) через фізичне осадження з парової фази (PVD) покриття та формування бар'єрного шару як цільового матеріалу. Як ми всі знаємо, хоча продуктивність металевого танталу є відносно стабільною, але дрібніший розмір частинок металевого порошку танталу є більш активним і реагує з киснем, азотом тощо при кімнатній температурі, так що кисень, азот та інші домішки в порошку танталу збільшується вміст. Щоб отримати високоякісні танталові мішені, необхідно спочатку зменшити вміст домішок у танталовому порошку та підвищити чистоту танталового порошку. Зменшення розміру частинок танталового порошку необхідно для покращення якості танталового порошку та танталових мішеней. Танталові мішені в основному використовуються в напівпровідникових покриттях, оптичних покриттях, декораціях, дисплеях з плоскими панелями, функціональних покриттях та інших галузях простору для зберігання оптичної інформації, галузях нанесення скляних покриттів, таких як автомобільне та архітектурне скло, а також оптичних комунікацій. Напівпровідники використовують процес фізичного осадження з парової фази (PVD) для «розпилення» мішеней з танталу на напівпровідникові підкладки для формування тонкоплівкових дифузійних бар’єрів для захисту мідних з’єднань. Танталові мішені для розпилення також використовуються в багатьох інших продуктах, включаючи магнітні носії інформації, головки струменевих принтерів і плоскі дисплеї. Висока температура плавлення та стійкість до корозії лопатей турбіни двигуна роблять їх ідеальними для застосування в сплавах. Тантал використовується у високотемпературних сплавах на основі нікелю, з основними застосуваннями в лопатках турбін для авіаційних двигунів і наземних газових турбін. Обладнання для хімічної обробки має надзвичайно високу стійкість до корозії та високих температур, що робить метал ідеальним конструкційним матеріалом для футерування посудин, труб, клапанів і теплообмінників у хімічній та фармацевтичній промисловості.